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纳米集成电路制造工艺
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= Nanoscale integrated circuits--the manufacturing process /张汝京等编著
ISBN/ISSN：978-7-302-45233-1
价格：CNY89.00
出版：北京 :清华大学出版社 ,2017
载体形态：xiv, 471页 :图 ;26cm
简介：本书共分19章, 涵盖先进集成电路工艺的发展史, 集成电路制造流程、介电薄膜、金属化、光刻、刻蚀、表面清洁与湿法刻蚀、掺杂、化学机械平坦化, 器件参数与工艺相关性, DFM (Design for Manufacturing), 集成电路检测与分析、集成电路的可靠性, 生产控制, 良率提升, 芯片测试与芯片封装等项目和课题。
并列题名：Nanoscale integrated circuits--the manufacturing process
中图分类号：TN405
责任者：张汝京 编著 张刚 编著 房永强 译 纽曼 ((Neuman, Robert P. )) 著 卡瓦诺 ((Cavanaugh, Roland R. )) 著 毕超 译 崔丽野 译 马睿 译
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