• 半导体薄膜技术基础

  
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/李晓干, 刘勐, 王奇编著

ISBN/ISSN：978-7-121-32880-0

价格：CNY49.00

出版：北京 :电子工业出版社 ,2018

载体形态：140页 :图 ;26cm

附注：普通高等教育“十三五”规划教材 微电子与集成电路设计系列规划教材

简介：本书对当前主要应用的薄膜技术及相关设备进行了深入浅出的介绍, 主要包括作为最重要的半导体衬底的硅单晶材料学、薄膜基础知识、PVD技术、CVD技术及其他相关的薄膜加工技术, 在对各种技术进行介绍的同时, 还对各种技术所应用的设备进行简要介绍。

中图分类号：TN304.05

责任者：李晓干 编著 刘勐 编著 王奇 编著 李云洲 译 齐思和, (1907-1980) 编

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