• 半导体薄膜技术与物理

  
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= Physics and technology of semiconductor thin films /叶志镇 ... [等] 编著

ISBN/ISSN：978-7-308-13910-6

价格：CNY36.00

出版：杭州 :浙江大学出版社 ,2014

载体形态：237页 :图 ;26cm

丛编：高等院校材料专业系列规划教材

附注：“十二五”普通高等教育本科国家级规划教材 本书可作为高等院校材料、物理、电子、化学等学科的研究生或高年级本科生的半导体薄膜技术课程的教材，也可作为从事半导体材料、薄膜材料、光电器件等领域的科研人员、工程技术人员的参考书籍。

简介：本书共分十章。第一章概述了真空技术，第二至第八章分别介绍了蒸发、溅射、化学气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延等，第九章介绍了半导体超晶格、量子阱的基本概念和理论，第十章介绍了典型薄膜半导体器件的制备技术。

并列题名：Physics and technology of semiconductor thin films

中图分类号：TN304.05

责任者：叶志镇, (1955-) 编著

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