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微机电系统(MEMS)制造技术 /苑伟政, 乔大勇著

ISBN/ISSN：978-7-03-039974-8 精装

价格：CNY88.00

出版：北京 :科学出版社 ,2014.03

载体形态：240页 :图 ;25cm

丛编：微纳制造的基础研究学术著作丛书

附注：国家科学技术学术著作出版基金资助出版

简介：本书介绍了MEMS制造技术的定义、发展历程和发展趋势 ; MEMS制造的材料基础 ; MEMS制造中的沾污及洁净技术等内容。

并列题名：Micro nano manufacturing

中图分类号：TM38

责任者：苑伟政 著 乔大勇 著 王玉花 译

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