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010 $a: 978-7-03-039974-8$b: 精装$d: CNY88.00
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106 $a: r
200 $a: 微机电系统(MEMS)制造技术$A: wei ji dian xi tong ( MEMS ) zhi zao ji shu$f: 苑伟政, 乔大勇著
210 $a: 北京$c: 科学出版社$d: 2014.03
215 $a: 240页$c: 图$d: 25cm
225 $a: 微纳制造的基础研究学术著作丛书$A: wei na zhi zao de ji chu yan jiu xue shu zhu zuo cong shu
300 $a: 国家科学技术学术著作出版基金资助出版
312 $a: 英文题名取自封面
320 $a: 有书目和索引
330 $a: 本书介绍了MEMS制造技术的定义、发展历程和发展趋势 ; MEMS制造的材料基础 ; MEMS制造中的沾污及洁净技术等内容。
410 $1: 2001 $a: 微纳制造的基础研究学术著作丛书
510 $a: Micro nano manufacturing$z: eng
606 $a: 微机电$A: wei ji dian$x: 生产工艺
690 $a: TM38$v: 5
701 $a: 乔大勇$A: qiao da yong$4: 著
801 $a: CN$b: BUCTL$c: 20140522
905 $a: BUCTL$d: TM38$r: CNY88.00$e: 15

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