字段 字段内容
001 01h1224931
005 20210628095919.0
010 $a: 978-7-122-36940-6$d: CNY79.00
100 $a: 20210104d2021 em y0chiy50 ea
101 $a: chi
102 $a: CN$b: 110000
105 $a: ak a 000yy
106 $a: r
200 $a: 微细加工与微纳加工技术及应用$A: wei xi jia gong yu wei na jia gong ji shu ji ying yong$d: = Micro machining and micro-nano machining technologies and applications$f: 赵波, 李伯民, 李清等编著$z: eng
210 $a: 北京$c: 化学工业出版社$d: 2021
215 $a: 214页$c: 图$d: 26cm
320 $a: 有书目 (第214页)
330 $a: 微细加工与微纳加工技术是当前发展最快的技术之一, 已广泛应用于机械、微电子、材料、机电、化工、能源、航空航天、通信、生物技术、医疗卫生、军事等领域。本书综合了近年来机械微加工和微纳加工领域的国内外新理论、新技术、新成果。全书分别介绍了微切削加工技术, 微细电加工技术, 激光的微纳米加工技术, 面向MEMS与NEMS应用的金刚石CVD技术, 纳米机械加工原理、方法与实现; 还重点介绍了微纳米加工光刻技术、沉积法图形转移技术、刻蚀法图形转移技术、薄膜沉积技术、自组装纳米加工技术、微纳米加工技术的应用等内容。
510 $a: Micro machining and micro-nano machining technologies and applications$z: eng
606 $a: 特种加工$A: te zhong jia gong$x: 技术
690 $a: TG66$v: 5
701 $a: 李清$A: li qing$4: 编著
801 $a: CN$b: BUCTL$c: 20210628
905 $d: TG66$r: CNY79.00$e: 29$a: BUCTLIB

北京创讯未来软件技术有限公司 版权所有 ALL RIGHTS RESERVED 京ICP备 09032139

欢迎第106048429位用户访问本系统

0