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微细加工与微纳加工技术及应用
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= Micro machining and micro-nano machining technologies and applications /赵波, 李伯民, 李清等编著
ISBN/ISSN：978-7-122-36940-6
价格：CNY79.00
出版：北京 :化学工业出版社 ,2021
载体形态：214页 :图 ;26cm
简介：微细加工与微纳加工技术是当前发展最快的技术之一, 已广泛应用于机械、微电子、材料、机电、化工、能源、航空航天、通信、生物技术、医疗卫生、军事等领域。本书综合了近年来机械微加工和微纳加工领域的国内外新理论、新技术、新成果。全书分别介绍了微切削加工技术, 微细电加工技术, 激光的微纳米加工技术, 面向MEMS与NEMS应用的金刚石CVD技术, 纳米机械加工原理、方法与实现; 还重点介绍了微纳米加工光刻技术、沉积法图形转移技术、刻蚀法图形转移技术、薄膜沉积技术、自组装纳米加工技术、微纳米加工技术的应用等内容。
并列题名：Micro machining and micro-nano machining technologies and applications
中图分类号：TG66
责任者：赵波 编著 李伯民 编著 李清 编著 李川 译 林旺群 译
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豆瓣内容简介：
微细加工与微纳加工技术是当前发展最快的技术之一，已广泛应用于机械、微电子、材料、机电、化工、能源、航空航天、通信、生物技术、医疗卫生、军事等领域。本书综合了近年来机械微加工和微纳加工领域的国内外新理论、新技术、新成果。全书分别介绍了微切削加工技术，微细电加工技术，激光的微纳米加工技术，面向MEMS与NEMS应用的金刚石CVD技术，纳米机械加工原理、方法与实现；还重点介绍了微纳米加工光刻技术、沉积法图形转移技术、刻蚀法图形转移技术、薄膜沉积技术、自组装纳米加工技术、微纳米加工技术的应用等内容。 本书内容丰富、语言精练，具有较强的实践指导意义和实用价值。本书可供机电、微电子、新材料、通信、能源、化工等领域的科研人员、技术人员阅读或参考，也可作为相关专业大专师生的教学参考书。
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