| 字段 | 字段内容 |
|---|---|
| 001 | 01h0084985 |
| 005 | 20160229154149.0 |
| 010 | $a: 978-7-03-045751-6$d: CNY98.00 |
| 100 | $a: 20151109d2015 em y0chiy0121 ea |
| 101 | $a: chi |
| 102 | $a: CN$b: 110000 |
| 105 | $a: ak a 000yy |
| 106 | $a: r |
| 200 | $a: 微纳米制造技术及应用$A: wei na mi zhi zao ji shu ji ying yong$f: 张德远 ... [等] 编著 |
| 210 | $a: 北京$c: 科学出版社$d: 2015 |
| 215 | $a: 252页$c: 图$d: 24cm |
| 225 | $a: 21世纪先进制造技术丛书$A: 21shi ji xian jin zhi zao ji shu cong shu |
| 300 | $a: “十二五”国家重点图书出版规划项目 |
| 304 | $a: 题名页题: 张德远, 蒋永刚, 陈华伟, 秦威等编著 |
| 320 | $a: 有书目 |
| 330 | $a: 微纳米制造技术广泛应用于大规模集成电路、微机械结构、微机电系统、传感器、驱动器、功能材料与涂层等, 涉及电子、机械、光学、物理、化学、材料、生物等多种学科, 是制造技术的融合交叉新领域。本书共分7章, 内容涵盖了微机械加工、表面成膜、半导体加工、纳米制造和生物制造等, 全面地讲述了微纳米加工的各种方法, 每种工艺都按照由原理、工艺过程到应用特点的顺序论述, 逻辑严谨、脉络清晰。本书文字通俗易懂、并配有大量的图解, 有利于读者对各知识点的理解、掌握和运用; 参考文献翔实, 适于读者拓展阅读。 |
| 410 | $1: 2001 $a: 21世纪先进制造技术丛书 |
| 606 | $a: 纳米技术$A: na mi ji shu |
| 690 | $a: TB303$v: 5 |
| 701 | $a: 陈华伟$A: chen hua wei$4: 编著 |
| 801 | $a: CN$b: BUCTL$c: 20160229 |
| 905 | $a: BUCTLIB$d: TB303$r: CNY98.00$e: 86 |
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