借阅：7人
收藏：0人
微纳米制造技术及应用
- 查看机读格式
/张德远 ... [等] 编著
ISBN/ISSN：978-7-03-045751-6
价格：CNY98.00
出版：北京 :科学出版社 ,2015
载体形态：252页 :图 ;24cm
丛编：21世纪先进制造技术丛书
附注：“十二五”国家重点图书出版规划项目
简介：微纳米制造技术广泛应用于大规模集成电路、微机械结构、微机电系统、传感器、驱动器、功能材料与涂层等, 涉及电子、机械、光学、物理、化学、材料、生物等多种学科, 是制造技术的融合交叉新领域。本书共分7章, 内容涵盖了微机械加工、表面成膜、半导体加工、纳米制造和生物制造等, 全面地讲述了微纳米加工的各种方法, 每种工艺都按照由原理、工艺过程到应用特点的顺序论述, 逻辑严谨、脉络清晰。本书文字通俗易懂、并配有大量的图解, 有利于读者对各知识点的理解、掌握和运用; 参考文献翔实, 适于读者拓展阅读。
中图分类号：TB303
责任者：张德远 编著 蒋永刚 编著 陈华伟 编著
-
评分：
-
加入暂存架
豆瓣内容简介：
“十二五”国家重点图书出版规划项目21世纪先进制造技术丛书微纳米制造技术及应用张德远蒋永刚陈华伟秦威等编著北京内容简介本书介绍了微纳米制造领域涉及的各类加工技术及其应用特点。全书共7章：第1章介绍了微纳制造技术的应用和分类；第2章介绍了微细机械加工和基于高能束的微细加工技术；第3章阐述了各类表面成膜与改性技术；第4章介绍了光刻、刻蚀、键合封装等半导体加工工艺；第5章介绍了微纳压印加工的各种方法；第6章阐述了各种纳米结构自组装成形技术；第7章介绍了生物去除加工、生物约束成形、生物复制成形等新型微纳加工方法。
豆瓣作者简介：
