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/Rebecca Cheung著 ;王晓浩, 唐飞, 王文弢译

ISBN/ISSN：978-7-03-026862-4

价格：CNY35.00

出版：北京 :科学出版社 ,2010

载体形态：121页 :图 ;24cm

丛编：微纳技术著作丛书

简介：本书的内容包括: SiC MEMS概述 ; SiC MEMS沉积技术 ; 与SiC接触开发相关的问题综述 ; SiC的干法刻蚀 ; SiC MEMS的设计、性能和应用。

中图分类号：TN304

责任者：张, ((Cheung, Rebecca)) 著 王晓浩 译 唐飞 译 王文弢 译

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