芯片制造

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:半导体工艺制程实用教程 :原书第5版 = Microchip fabrication :a practical guide to semiconductor processing /(美) Peter Van Zant著 ;韩郑生, 赵树武译

ISBN/ISSN：978-7-121-11372-7

价格：CNY55.00

出版：北京 :电子工业出版社 ,2010

载体形态：387页 :图 ;26cm

丛编：国外电子与通信教材系列

简介：本书共分18章，主要内容包括：半导体工业、半导体材料和化学品的性质、晶体生长与硅晶圆制备、晶圆制造概述、污染控制、生产能力和工艺良品率、氧化、基本图形化工艺流程——从表面准备到曝光等。

统一题名：Microchip fabrication : a practical guide to semiconductor processing

其他题名：半导体工艺制程实用教程

中图分类号：TN43

责任者：赞特 ((Van Zant, Peter)) 著韩郑生译赵树武译

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