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010 $a: 978-7-121-26083-4$d: CNY79.00
100 $a: 20150611d2015 em y0chiy0121 ea
101 $a: chi$c: eng
102 $a: CN$b: 110000
105 $a: ak a 000yy
106 $a: r
200 $a: 半导体制造技术$A: ban dao ti zhi zao ji shu$d: = Semiconductor manufacturing technology$f: (美) Michael Quirk, Julian Serda著$g: 韩郑生等译$z: eng
210 $a: 北京$c: 电子工业出版社$d: 2015
215 $a: 14, 600页$c: 图$d: 26cm
225 $a: 国外电子与通信息教材系列$A: guo wai dian zi yu tong xin xi jiao cai ji lie
306 $a: 本书中文简体版专有出版权由Pearson Education (培生教育出版集团) 授予电子工业出版社。未经出版者预先 书面许可, 不得以任何方式复制或抄袭本书的任何部分
314 $a: 责任者Quirk规范汉译姓: 夸克; 责任者Serda规范汉译姓: 瑟达
320 $a: 有书目
330 $a: 本书详细追述了半导体发展的历史并吸收了当今最新技术资料, 学术界和工业界对本书的评价都很高。全书共分20章, 根据应用于半导体制造的主要技术分类来安排章节, 包括与半导体制造相关的基础技术信息; 总体流程图的工艺模型概况, 用流程图将硅片制造的主要领域连接起来; 具体讲解每一个主要工艺; 集成电路装配和封装的后部工艺概况。此外, 各章为读者提供了关于质量测量和故障排除的问题, 这些都是会在硅片制造中遇到的实际问题。
410 $1: 2001 $a: 国外电子与通信息教材系列
510 $a: Semiconductor manufacturing technology$z: eng
606 $a: 半导体工艺$A: ban dao ti gong yi$x: 高等学校$j: 教材
690 $a: TN305$v: 5
701 $a: 瑟达$A: se da$g: (Serda, Julian)$4: 著
702 $a: 韩郑生$A: han zheng sheng$4: 译
801 $a: CN$b: BUCTL$c: 20160303
905 $d: TN305$r: CNY79.00$e: 24

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