| 字段 | 字段内容 |
|---|---|
| 001 | 01h0036493 |
| 005 | 20120321162049.0 |
| 010 | $a: 978-7-302-27483-4$d: CNY49.00 |
| 100 | $a: 20111228d2011 ekmy0chiy0121 ea |
| 101 | $a: chi |
| 102 | $a: CN$b: 110000 |
| 105 | $a: ak a 000yy |
| 106 | $a: r |
| 200 | $a: 薄膜技术与薄膜材料$A: bao mo ji shu yu bao mo cai liao$f: 田民波, 李正操编著 |
| 210 | $a: 北京$c: 清华大学出版社$d: 2011 |
| 215 | $a: xiii, 531页$c: 图$d: 26cm |
| 225 | $a: 材料科学与工程系列$A: cai liao ke xue yu gong cheng xi lie |
| 320 | $a: 有书目 (第529-531页) |
| 330 | $a: 薄膜及微细加工技术的应用范围极为广泛，从大规模集成电路、电子元器件、平板显示器、信息记录与存储、MEMS、传感器、白光LED固体照明、太阳能电池到材料的表面改性等，涉及高新技术产业的各个领域。本书内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用等4大部分，涉及薄膜技术与薄膜材料的各个方面，知识全面，脉络清晰。 |
| 333 | $a: 本书可作为材料、机械、精密仪器、化工、能源、微电子、计算机、物理、化学、光学等学科本科生及研究生教材，对于从事相关行业的科技工作者与工程技术人员，也具有极为难得的参考价值。 |
| 410 | $1: 2001 $a: 材料科学与工程系列 |
| 606 | $a: 薄膜$A: bao mo$x: 膜材料 |
| 690 | $a: TB383$v: 4 |
| 696 | $a: TB383$v: 5 |
| 701 | $a: 李正操$A: li zheng cao$4: 编著 |
| 801 | $a: CN$b: BUCTL$c: 20120321 |
| 905 | $a: BUCTLIB$d: TB43$r: CNY49.00$e: 27 |
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