| 字段 | 字段内容 |
|---|---|
| 001 | 01h0026596 |
| 005 | 20110621124358.0 |
| 010 | $a: 978-7-03-029220-9$b: 精装$d: CNY56.00 |
| 100 | $a: 20101118d2010 em y0chiy50 ea |
| 101 | $a: chi |
| 102 | $a: CN$b: 110000 |
| 105 | $a: ak a 000yy |
| 106 | $a: r |
| 200 | $a: 微机电系统设计$A: wei ji dian xi tong she ji$e: 建模、仿真与可视化$f: 卢桂章, 赵新著 |
| 210 | $a: 北京$c: 科学出版社$d: 2010.10 |
| 215 | $a: 278页$c: 图$d: 24cm |
| 225 | $a: 半导体科学与技术丛书$A: ban dao ti ke xue yu ji shu cong shu |
| 320 | $a: 有书目 |
| 330 | $a: 本书建立了一种微电子机械器件的设计方法, 对现有设计系统功能作了一些重要的补充和完善, 其基本思路是在设计阶段, 当版图和工艺设计完成后, 通过建立运动部件的动态模型, 进行三维可视化仿真, 形成器件在虚拟环境中运行, 从而对器件的运动功能进行评测。 |
| 410 | $1: 2001 $a: 半导体科学与技术丛书 |
| 517 | $a: 建模、仿真与可视化$A: jian mo、 fang zhen yu ke shi hua |
| 606 | $a: 微电机$A: wei dian ji$x: 系统设计 |
| 690 | $a: TM38$v: 4 |
| 701 | $a: 赵新$A: zhao xin$4: 著 |
| 801 | $a: CN$b: BUCTL$c: 20110621 |
| 905 | $d: TM38$r: CNY56.00$e: 13 |
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