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| 200 | $a: 国外集成电路光刻制版自动化$A: guo wai ji cheng dian lu guang ke zhi ban zi dong hua$f: 上海无线电七厂,上海科学技术情报研究所编译 |
| 210 | $a: 上海$c: 上海科学技术情报研究所$d: 1977 |
| 215 | $a: 68页$d: 26cm |
| 300 | $a: 半导体器件生产自动化专辑 |
| 606 | $a: 电子束光刻-集成电路工艺 |
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| 711 | $0: 2$a: 上海科学技术情报研究所$A: shang hai ke xue ji shu qing bao yan jiu suo$4: 编译 |
| 905 | $a: BUCTL$b: 261718-22 $d: TN305.7$e: 2 |
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