| 字段 | 字段内容 |
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| 100 | $a: 20011018d1977 em y0chiy0121 ea |
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| 102 | $a: CN$b: 110000 |
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| 106 | $a: r |
| 200 | $1: 0$a: 光致抗蚀剂$A: guang zhi kang shi ji$e: 光刻胶$f: 中国科学院化学研究所《光致抗蚀剂》组编著 |
| 210 | $a: 北京$c: 科学出版社$d: 1977 |
| 215 | $a: 190页$d: 19cm |
| 606 | $a: 电子束光刻-半导体工艺 |
| 690 | $a: TN305.7$v: 3 |
| 711 | $0: 2$a: 中国科学院化学研究所光致抗蚀剂组$A: zhong guo ke xue yuan hua xue yan jiu suo guang zhi kang shi ji zu$4: 编著 |
| 801 | $a: CN$b: BUCTL |
| 905 | $a: BUCTL$b: 261033-7$d: TN305.7$e: 1 |
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