| 字段 | 字段内容 |
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| 106 | $a: r |
| 200 | $a: 半导体器件工艺$A: ban dao ti qi jian gong yi$f: 电子工业半导体专业工人技术教材编写组编$F: Dian Zi Gong Ye Ban Dao Ti Zhuan Ye Gong Ren Ji Shu Jiao Cai Bian Xie Zu Bian |
| 210 | $a: 上海$c: 上海科学技术文献出版社$d: 1984 |
| 215 | $a: 658页$d: 19cm |
| 606 | $a: 半导体工艺 |
| 690 | $a: TN305$v: 3 |
| 711 | $0: 2$a: 电子工业半导体专业工人技术教材编写组$A: dian zi gong ye ban dao ti zhuan ye gong ren ji shu jiao cai bian xie zu$4: 编 |
| 801 | $a: CN$b: BUCTL |
| 905 | $a: BUCTL$b: 398774-6 $d: TN305 $e: 8 |
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