| 字段 | 字段内容 |
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| 005 | 20001222153330.4 |
| 010 | $d: CNY0.78 |
| 091 | $a: CN$b: 15212.84 |
| 100 | $a: 19950706d1983 em y0chiy0120 ea |
| 101 | $a: chi |
| 102 | $a: CN$b: 120000 |
| 105 | $a: y z 000yy |
| 106 | $a: r |
| 200 | $a: 半导体工艺化学$A: ban dao ti gong yi hua xue$e: 工艺原理部分$E: Gong Yi Yuan Li Bu Fen$f: 陈竹青编$F: Chen Zhu Qing Bian |
| 210 | $a: 天津$c: 天津科学技术出版社$d: 1983 |
| 215 | $a: 134页$d: 25cm |
| 606 | $a: 半导体化学-半导体工艺 |
| 690 | $a: TN305$v: 3 |
| 701 | $a: 陈竹青$A: chen zhu qing$4: 编 |
| 801 | $a: CN$b: BUCTL |
| 905 | $a: BUCTL$b: 373357-9 $d: TN305$e: 7/2 |
| 999 | $a: chf$b: 3$e: sk |
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