| 字段 | 字段内容 |
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| 010 | $d: CNY1.22 |
| 091 | $a: CN$b: 15212.69 |
| 100 | $a: 19950706d1982 em y0chiy0120 ea |
| 101 | $a: chi |
| 102 | $a: CN$b: 120000 |
| 105 | $a: y z 000yy |
| 106 | $a: r |
| 200 | $a: 半导体器件制造工艺$A: ban dao ti qi jian zhi zao gong yi$f: 高廷仲编$F: Gao Ting Zhong Bian |
| 210 | $a: 天津$c: 天津科学技术出版社$d: 1982 |
| 215 | $a: 226页$d: 25cm |
| 606 | $a: 半导体工艺 |
| 690 | $a: TN305$v: 3 |
| 701 | $a: 高廷仲$A: gao ting zhong$4: 编 |
| 801 | $a: CN$b: BUCTL |
| 905 | $a: BUCTL$b: 361661-5 $d: TN305 $e: 6 |
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