| 字段 | 字段内容 |
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| 010 | $d: CNY3.35 |
| 091 | $a: CN$b: 15244.0014 |
| 100 | $a: 19900921d1985 emky0chiy0120 ea |
| 101 | $a: chi |
| 102 | $a: CN$b: 110000 |
| 105 | $a: y z 000yy |
| 106 | $a: r |
| 200 | $a: 电子束扫描曝光技术$A: dian zi shu sao miao bao guang ji shu$f: 吴克华著$F: Wu Ke Hua Zhu |
| 210 | $a: 北京$c: 宇航出版社$d: 1985 |
| 215 | $a: 424页$d: 29cm |
| 606 | $a: 电子束光刻-半导体工艺 |
| 690 | $a: TN305.7$v: 3 |
| 701 | $a: 吴克华$A: wu ke hua$4: 著 |
| 801 | $a: CN$b: BUCTL |
| 905 | $a: BUCTL$b: 434282-6 $d: TN103 $e: 4 |
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