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超精密加工技术
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/庞滔，郭大春，庞楠编
ISBN/ISSN：7-118-02109-1
价格：CNY35.00
出版：北京 :国防工业出版社 ,2000
载体形态：2,380页 ;26cm
简介：本书较系统、全面地介绍了世界上已达到的超精密加工技术。内容包括超精密加工基础，超精密切削，超精密磨削，超精密研磨与抛光，特种加工，金属超精密加工实例，硬脆非金属材料的超精密加工，半导体基片的超精密加工等章。本书可供从事超精密加工工作的科技人员及大专院校师生参考，也可作为研究生教材。
中图分类号：TG506.9
责任者：庞滔 编 郭大春 编 庞楠 编 古吴素庵主人 编 沈复 著
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