• 等离子体放电原理与材料处理

  
• 查看机读格式

:原书第2版 /(美) 迈克尔·A.力伯曼, 阿伦·J.里登伯格著 ;蒲以康等译

ISBN/ISSN：978-7-03-018659-1

价格：CNY75.00

出版：北京 :科学出版社 ,2007

载体形态：xxxiv, 585页 :图 ;24cm

丛编：工程技术丛书

简介：全书共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。

并列题名：Principles of plasma discharges and materials processing

中图分类号：O461

责任者：力伯曼, ((Lieberman, Michael A.)) 著 里登伯格, ((Lichtenberg, Allan J.)) 著 蒲以康 译

• 评分：
• 加入暂存架